(1)臺式潔凈室潔凈隧道

這種形式的潔凈室潔凈隧道是將潔凈工作臺相互連接在一起，并取消中間的側壁，組成生產需要的隧道型生產線。當潔凈室工藝要求垂直層流時，可選用垂直層流工作臺。當工藝要求水平層流時，則選用水平層流工作臺。相比較全室凈化更易保證局部空間的高潔凈度，并由于工作臺相互連接，可以減少或防止交叉污染。此外，對建筑的要求比較簡單，只要求具備亂流潔凈室的環境即可。其缺點是潔凈工作臺的尺寸固定，使操作面缺乏足夠的靈活性，潔凈室工藝設備必須適應工作臺的尺寸，調整起來也不大方便。

(2)棚式潔凈室潔凈隧道

棚式潔凈隧道是將潔凈棚，即棚式垂直層流單元串聯在一條生產線上所組成的。根據潔凈室工藝要求，潔凈棚的面積可以變化，空氣可以全部為室內循環式，也可連通集中式凈化空調系統，吸取部分新風。棚式潔凈室潔凈隧道適合于工藝設備較大的場所。當工業管道可以明裝時，采用圖a的形式，當工業管道必須暗裝時，采用圖b的形式。

(3)罩式潔凈室潔凈隧道

此種形式的潔凈隧道是將層流罩，即罩式垂直層流單元串聯在一條生產線上所組成的。由于層流罩的進深比潔凈棚小，只適用于工藝設備較小的潔凈室。空氣循環方式與棚式潔凈隧道和臺式潔凈隧道相同，是目前采用較多的一種潔凈室潔凈隧道。

(4)集中送風式潔凈室潔凈隧道

集中送風式潔凈隧道是由集中式送風系統的滿布高效過濾器的靜壓箱所組成的。這種潔凈隧道的層流工作區的寬度可依照潔凈室工藝提出的要求確定，而不像臺式、棚式和罩式潔凈隧道那樣，因局部凈化設備的尺寸而限制層流工作區的寬度，設計可以更為靈活。潔凈室采用這種形式時，回風可以通過技術夾道，也可像圖這樣，在亂流操作活動區設置地溝。此外，工業管道可布置在潔凈室工作區的沿壁板一側，排風管接至地溝。